-Non spécifié-
Pompe à palettes (115)
Pompe roots (15)
Pompe sèche (1)
ALIMENTATION (1)
CONVERTISSEUR DE FREQUENCE (2)
GENERATEUR DC (2)
GENERATEUR RF (2)
RF MATCH (3)
MOTEUR (1)
PIPETTE (1)
MAGNETRON (1)
RF SS DRIVER (2)
Compresseur (2)
Pompe cryogénique (23)
Manomètre à vide / combiné conductibilité thermique cathode froide (4)
Manomètre à vide / à ionisation à cathode froide (4)
Manomètre à vide / conductibilité thermique (4)
Manomètre à vide / combiné conductibilité thermique cathode chaude (1)