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Maintenance

Technologie du vide / Analyse de gaz

Pompes à vide toutes marques, du vide primaire à l’ultravide.
A huile, sèches, turbomoléculaires, cryogéniques, ioniques.
Vannes manuelles, pneumatiques et motorisées toutes marques, toutes tailles.
 Accessoires et éléments de raccordement vide.
 Manomètres, débitmètres massiques de gaz (MFC).
 Détection de fuite He, analyse de gaz résiduels.
 Entretien, étalonnage et réparation de détecteurs de fuites, spectromètres.
 Etalonnage de manomètres et de fuites calibrées.

Electronique / Electrotechnique

 Sous-ensembles BT et HT analogiques et numériques.
 Cartes, variateurs, robots, systèmes de régulation, convertisseurs de fréquences, contrôleurs, câbles de raccordement, écrans.
 Radiofréquence industrielle.
Générateurs RF-DC, RPS, boîtes d’accord, systèmes de mesure, sources plasma…
 Chillers, heat exchangers.

Nettoyage et reconditionnement ultrapropre

 Décontamination particulaire métallique et organique, contrôle surfacique, analyse de gaz résiduels, étuvage.
 Reconditionnement ultrapropre de sous ensembles céramique, quartz, saphir, aluminium, inox, polymère.
 Nettoyage par procédé chimique, thermique, mécanique, ultrasonique, CO2…

Interventions sur équipements de production et de laboratoire

 Entretien et réparation d’équipements complets dédiés aux micro et nanotechnologies.
Machines de gravure, dépôt, centrifugeuses, traitement thermique, dépôt résine…
 Installation sur site, raccordement, mise en route.
 Etalonnage, détection de fuite He, analyse de gaz résiduels.
 Maintenance préventive et corrective sur parc complet.
 Transfert d’équipements.
 Constructeurs.
AMAT, LAM, STS, KLA, TEL, ASML, Semitool, Electrotech, Balzers, Thermco, Avisa...


▪ 25 000 interventions par an ▪ Interventions en atelier et sur site client
▪ Support sur site client ▪ Intervention sur équipements ▪ 3000 interventions sur sites clients
▪ Délégation de spécialistes ▪ 2x8 - 7j/7 ▪ Personnel certifié Cofrend Etanchéité, CEFRI